京仪装备(688652)半导体专用温控／废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产

半导体专用温控/废气处理设备龙头，最受益先进制程扩产请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明证券研究报告/公司深度研究报告京仪装备（688652.SH）：【华西机械团队】分析师：黄瑞连SACNO：S1120524030001邮箱：huangrl@hx168.com.cn2024年12月5日1核心观点本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体工艺辅助设备龙头，Chiller&L/S唯一国内均可量产供应商，产品充分适配国内最先进的14nm逻辑芯片和192层3D NAND存储芯片产线，供货长江存储、中芯国际、长鑫科技、华虹等头部客户。受益于国内晶圆厂扩产&国产替代，公司业绩持续快速增长。1）收入端：2023年公司营业收入达到7.42亿元，2019-2023年CAGR为33.9%，2024Q1-3收入为7.72亿元，同比+28%。2024Q3末公司存货17亿元，同比+116.5%；合同负债6.2亿元，同比+86.3%，在手订单充足，将保障短期收入端快速增长。2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2023年归母净利润1.19亿元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高达111%，利润端表现较收入端更加出色。2020-2024Q1-3年公司销售净利率分别为1.82%、11.73%、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持续提升。先进制程扩产趋势下，Chiller&L/S是价值量提升最明显环节。大基金三期落地彰显国家解决半导体“卡脖子”决心，先进逻辑+存储将是主要投资方向，叠加AI驱动下先进制程扩产的产业趋势已经确立。节点升级将大幅提升资本开支，不仅是核心设备总用量提升，先进制程设备单台价值量同样提升明显，Chiller&L/S价值量提升尤为明显。以Chiller为例，先进逻辑7nm节点每万片需求量将提升3-4倍；先进NAND提升更为明显，高深宽比蚀刻需引入低温蚀刻技术来满足工艺需求，每万片新增超低温Chiller需求约100台，且单价大幅提升，可见Chiller价值量提升显著高于其他工艺制程设备，此外，先进制程扩产同样带来L/S价值量提升。根据我们测算，2024-2025年中国大陆Chiller&L/S合计市场规模达到59.8/64.1亿元，高于Chiller&L/S各1%的价值量占比测算。公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间。1）不同于其他前道工艺设备，Chiller&L/S可完全实现进口替代，公司先进制程收入敞口接近100%，考虑到公司Chiller在大陆头部先进制程客户接近实现独供，短期最先受益先进制程晶圆厂扩产，以2023分别为15亿元、33元亿计算，公司Chiller&L/S的市占率为29%、11%，中长期看公司Chiller&L/S整体市占率仍有较大提升空间 。2）后服务市场收入已成为海外半导体设备龙头重要收入来源，23财年AMAT/LAM后市场收入占比高达22%/38%可以得到印证。公司后市场服务主要包括零配件和维保服务，IPO募投着力布局L/S核心零部件火炬头的自制产能。2023年公司后市场收入仅为6547万元，收入占比仅9%，远低于海外成熟公司后市场收入占比，2019-2023年公司累计实现设备收入21.64亿元，按照后市场收入占设备价值量10%，公司自有设备配套的后市场空间约2.2亿元，我们判断随着公司Chiller&L/S持续大规模出货，后服务业务有望加速增长，成为公司重要的增长点。投资建议：我们预计公司2024-2026年营业收入为10.23、15.22和19.97亿元，同比+38%、49%和31%；2024-2026年归母净利润为1.61、2.80和4.16亿元，同比+35%、74%和49%；2024-2026年EPS为0.96、1.67和2.48元，2024/12/4股价53.5元对应PE为56、32、22倍，考虑到公司为本土半导体工艺辅助设备龙头，后市场业务成长逻辑清晰，首次覆盖，给予“增持”评级。风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、海外制裁超预期加剧、行业竞争加剧等2目录本土半导体工艺辅助设备龙头，业绩持续快速增长一Chiller&L/S：先进制程扩产趋势下，价值量提升最明显环节二公司最先受益先进制程扩产，维保后市场打开成长空间三四投资建议与风险提示31.1 引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户京仪装备成立于2016年，是国内领先的半导体工艺辅助设备公司，专注于温控设备（Chiller）、工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter）三大类产品，同时还提供设备零部件及维修服务。北京自动化院为京仪集团下属研究院，在温度控制、机械手运功轨迹控制方面已有较强技术积累，公司在此基础上成立并快速发展。成立仅一年后，公司半导体温控设备、工艺废气处理设备分别通过中芯国际、长江存储、大陆英特尔产线验证；2021年公司Chiller实现超低温-70°C温控，L/S处理量上限提升至1600slm，产品不断迭代升级，全面适配LAM、TEL、中微公司、北方华创等设备的工艺需求，引领Chiller&L/S设备进口替代。资料来源：公司招股说明书及问询函，公司官网，华西证券研究所图：公司发展脉络清晰，三大类产品持续取得突破，进入多个半导体头部客户供应链2013-20162016201720182019202020212022工艺废气处理设备半导体专用温控设备已初步掌握温控技术，两大设备通过中芯国际、武汉新芯验证，实现供货超百台京仪装备成立双通道产品通过大连英特尔验证成为武汉新芯、大连英特尔合格供应商，销售代理品牌进入长江存储攻克双腔燃烧式水洗技术实现嵌入Stocker的倒片工艺WPH达250攻克核心零部件等离子火炬公司产品全面适配LAM、TEL、中微公司等需求通过京东方产线验证微晶背接触式样机三通道产品适配LAM和TEL；成功研发超低温-70 ℃复叠样机，完成国家重大专项课题处理量上限最高至1600slm长江存储二期扩产订单晶圆传片设备推出自主研发的Kylin系列产品，长江存储验证2015年已迭代至第二代晶圆传片样机开发晶圆载物台北京自动化院时期41.1 引领Chiller&L/S设备进口替代，供货大陆先进制程客户作为工艺辅助设备，公司三大类产品广泛应用于晶圆制造各环节，而且设备性能已充分满足国内先进制程客户量产需求。1）半导体温控设备（Chiller）：即对反应腔温度、压力和流量进行精密控制，用于刻蚀、沉积、扩散等环节。公司竞争力较强，可满足14nm逻辑芯片和192层 3D NAND存储芯片等先进制程量产需求，2022年公司Chiller国内市占率为35.7%，连续三年位居第一。此外，公司创造性通过两级复叠技术实现-70°C超低温温控，国际领先，并朝着更低温控区间进行研发。2）半导体工艺废气处理设备（LocalScrubber）：即对各环节产生的工业废气进行无害化处理，主要用于刻蚀、沉积等环节。目前公司产品可应用于28nm以上逻辑芯片量产，以及192层3D NAND存储芯片的先进制程产线。公司竞争力持续提升，2022年公司L/S设备国内市占率为15.6%，排名第四，与第一名份额仅差3p