技术跃迁专题研究系列之四：EUV光源主题，源头活水，换道超车

证券研究报告 请务必阅读正文之后第 27 页起的免责条款和声明 源头活水，换道超车 技术跃迁专题研究系列之四：EUV 光源主题｜2023.9.20 中信证券研究部 核心观点 刘易 主题策略首席 分析师 S1010520090002 田鹏 主题策略分析师 S1010521010003 王涛 主题策略分析师 S1010521060002 王丹 主题策略分析师 S1010521110002 侯苏洋 主题策略分析师 S1010523080001 近期 SSMB 方案得到广泛关注，我们认为存在 EUV 光源换道超车的可能性。从技术层面看，SSMB 与同步辐射光源技术具有一定相似性，SSMB 具备产业化验证条件。从供应链角度看，我国在同步辐射光源领域基础较好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS 项目已完成光源出束。目前，SSMB 方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若 SSMB 方案商业化进展顺利，我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。围绕 SSMB 主题，我们建议关注两条投资主线：项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。 ▍回顾历史，光源选择决定光刻机高度。光源变革是光刻机技术迭代最有力的推动者，其他技术的变革是对光源迭代的回应。回顾光刻机发展历史，ASML 正是选择了激进光源技术才实现了换道超车。SR 光刻与 EUV 光刻均采用 XIL 技术，由于非相干光功率较低限制了 SR 光源工业化量产。SR 光源和 EUV 光源均属于软 X 射线波段，在光刻环节均采用 XIL 技术，上海光源的 XIL 线站已运行超过十年，已取得一系科研和产业进展。但由于 SR 光源束团长度较长，产生的光相干性较差功率较小，限制了其在工业领域的大规模量产，SR 光刻仅停留在实验室阶段。 ▍SSMB 能通过 FEL 同时实现光源的短波长和相干性，克服 SR 光源功率不足的问题，预计投资规模较大。SSMB 存储环中的自由电子激光具有束团品质高、波长连续可调、相干性强等优点，使得加速器光源产业化具备可行性。从投资规模看，根据《稳态微聚束加速器光源》（唐传祥、邓秀杰，2022），SSMB 投资强度较大，预计造价为数亿到十亿元。同时，参照 HEPS 项目，我们预计未来 SSMB 项目主要零部件可达成自主可控，具备商业化落地前提。目前，HEPS加速器组成已部分完成招标，根据 HEPS 官网以及中国政府采购网信息，HEPS加速器的电子枪、微波功率源、配套仪器等供应商基本以国内厂商为主，供应商包括沈阳科学仪器、宝胜科技、北京高能锐新科技、合肥科烨、合肥聚能、爱科赛博、杭州永磁等；但真空系统配套设备组件采购仍较大程度依赖海外厂商，包括普发真空、美国 MT、三井光中真空、韩国希尔泰等。 ▍风险因素：SSMB 可能存在应用瓶颈；方案建设进度不及预期；光刻机产业链发展不及预期；商业化进度不及预期；半导体行业资本开支力度减弱。 ▍投资策略：作为“半导体工业掌上明珠”，ASML 目前仍为全球唯一 EUV 光刻机供应商。受到国际政治博弈等不利因素影响，我国亟需在 EUV 光刻机等核心设备领域实现突破。清华大学提出的 SSMB 方案创新性地将同步辐射光源技术应用于 EUV 光刻领域。我国在同步辐射光源领域基础较好，HEPS 项目已完成光源出束。从供应链角度看，HEPS 基本可达到核心组成部分自主可控，我们认为 SSMB 方案在技术以及基础设施领域均具备较好的可实施性。虽然 SSMB 方案仍未进入建设期，项目仍有较大不确定性，但我们认为 HEPS 供应商与 SSMB具有可比性，梳理 HEPS 项目供应商具有一定合理性。围绕 SSMB 方案，我们建议重点关注两条投资主线：1）项目基础设施供应商：若方案在未来得到验证，我们认为有望率先带动大规模 SSMB 方案基础设施建设，电源、真空系统、电线电缆、核心器件等零组件有望率先受益，推荐英杰电气（300820.SZ）、宝胜股份（600973.SH），建议关注爱科赛博（688719.SH）、国光电气（688776.SH）；2）光刻机关键零部件供应商：短期看，在传统技术路线下，我国光刻机核心零部件正处于快速发展阶段，国内光学厂商技术实力已取得长足进步；长期看，若SSMB 方案顺利落地，我国有望在光源系统换道超车，有望加速国产 EUV 光刻机量产进度，建议关注福晶科技（002222.SZ）、腾景科技（688195.SH）、茂 主题策略行业技术跃迁专题研究系列之四：EUV 光源主题｜2023.9.20 请务必阅读正文之后的免责条款和声明 2 莱光学（688502.SH）、波长光电（301421.SZ）。 重点公司盈利预测及投资评级 简称 代码 收盘价 EPS PE 评级 22 23E 24E 25E 22 23E 24E 25E 英杰电气 300820.SZ 56.97 2.37 2.27 2.93 4.00 24 25 19 14 买入 宝胜股份 600973.SH 5.17 0.05 0.32 0.46 0.61 103 16 11 8 买入 资料来源：Wind，中信证券研究部预测 注：股价为 2023 年 9 月 19 日收盘价 主题策略行业技术跃迁专题研究系列之四：EUV 光源主题｜2023.9.20 请务必阅读正文之后的免责条款和声明 3 目录 引子：光源变化决定光刻机高度 ....................................................................................... 6 回顾历史，光源变迁推动光刻机发展 ................................................................................ 6 从电光源到同步辐射光源，光源变化历史 ......................................................................... 8 同步辐射光源光刻产业化需配套光刻系统升级 ............................................................... 11 同步辐射光源结构和原理 ................................................................................................ 11 SR 光刻与 EUV 光刻曝光原理相同，光路大幅简化 ........................................................ 12 同步辐射光刻技术在产业化上的难点 .............................................................................. 14 SSMB 方案适用于 EUV 光刻，具备产业化优势 ..........................