中科飞测(688361)产品矩阵加速完善，国产化破局可期

联合研究丨公司深度丨中科飞测（688361.SH） [Table_Title] 中科飞测：产品矩阵加速完善，国产化破局可期 %%%%1 请阅读最后评级说明和重要声明 2 / 34 丨证券研究报告丨 报告要点 [Table_Summary]公司于 2014 年在中科院微电子所孵化下成立，现阶段产品包括纳米图形晶圆检测设备、无图晶圆检测设备、关键尺寸量测设备、三维形貌量测设备等共计九大系列产品，以及三大系列软件，能够覆盖 28nm 以下制程节点，主要客户包括 SMIC、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路前道制程和先进封装知名客户。 分析师及联系人 [Table_Author] 杨洋 赵智勇 倪蕤 SAC：S0490517070012 SAC：S0490517110001 SAC：S0490520030003 SFC：BUW100 SFC：BRP550 王泽罡 SAC：S0490521120001 2请阅读最后评级说明和重要声明 丨证券研究报告丨 更多研报请访问 长江研究小程序 中科飞测（688361.SH） cjzqdt11111 [Table_Title2] 中科飞测：产品矩阵加速完善，国产化破局可期 联合研究丨公司深度 [Table_Rank] 投资评级 买入丨首次 [Table_Summary2] 中科飞测：大陆量检测设备龙头，国产替代先锋 公司于 2014 年在中科院微电子所孵化下成立，2017 年公司主要产品无图形晶圆缺陷检测设备通过 SMIC 产线验证，2018 年图形晶圆缺陷检测设备通过长电科技先进产线验证，2021 年无图形晶圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收。现阶段公司产品包括纳米图形晶圆检测设备、无图晶圆检测设备、关键尺寸量测设备、三维形貌量测设备等共计九大系列产品，以及三大系列软件，能够覆盖 28nm 以下制程节点，主要客户包括 SMIC、长江存储、士兰集科、长电科技等国内主流集成电路前道制程和先进封装知名客户。2023 年公司实现营业收入 8.91 亿元，同比增长 75%；实现归母净利润 1.40 亿元，同比增长 1,072%，经营规模快速增长。 行业发展：晶圆制造核心环节，国产替代迫在眉睫 半导体量检测设备是保证芯片生产高成品率的关键，贯穿于集成电路生产全过程，属于核心设备之一，具备市场规模大、技术门槛高、产品型号多等特点。2023 年其全球市场规模约 128 亿美元，仅次于刻蚀、薄膜和光刻，占全球半导体设备市场规模约 12%。2023 年全球半导体量检测设备市场仍以海外公司主导，行业 CR5 超过 86%，其中 KLA 占据约 56%的份额，市场集中度较高。国内厂商起步较晚，现阶段国产化率不足 10%，远落后于刻蚀、薄膜、清洗等领域。量检测设备按照工艺环节，可分为检测设备和量测设备，产品型号数量较多。近年来，国内涌现出较多量检测设备公司，研发投入力度不断加大，但现阶段多数公司仅能覆盖三到四个细分领域，格局较为分散，中科飞测和精测电子等公司处于行业领先地位。 业务进展：新产品落地顺利，头部客户批量应用 公司持续加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级。成熟产品层面，无图晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、介质/金属薄膜膜厚量测设备均已经实现批量销售，且向更先进工艺节点突破；新产品层面，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备均已实现出货，OCD 设备目前在客户端验证结果良好。公司研发实力较强，2023 年全年研发投入达到 2.28 亿元，占营收比重为 26%；截至 2024H1 研发人员数量达到465 人，占公司总人数的比例为 44.4%，拥有专利 558 项，其中发明专利 135 项。 盈利预测：订单持续增长，规模化效应逐步显现 公司的成长一方面来源于国产替代的持续推进，另一方面来自于先进制程对于量检测设备需求的提升。由于美国对华半导体出口管制措施依旧严格，在国内晶圆厂扩产意愿提升的背景之下，核心设备的替代需求更加强烈。近年来随着研发投入力度加大，公司新产品落地节奏加速，尤其是先进型号进展顺利，进一步促进了订单规模的扩张。随着规模化效应的显现，我们认为公司未来盈利能力也有望持续提升，预计 2024-2026 年实现归母净利润 1.46 亿元、2.68 亿元、4.51 亿元，对应 PE 分别为 160x、87x、52x，首次覆盖给予“买入”评级。 风险提示 1、下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性； 2、 研发节奏存在不确定性。 3、 客户验证进度存在不确定性 4、 盈利预测假设不成立或不及预期的风险。 公司基础数据 [Table_BaseData]当前股价(元) 72.81 总股本(万股) 32,000 流通A股/B股(万股) 24,416/0 每股净资产(元) 7.27 近12月最高/最低价(元) 89.38/46.12 注：股价为 2024 年 10 月 18 日收盘价 市场表现对比图(近 12 个月) 资料来源：Wind -41%-19%2%23%2023/102024/22024/62024/10中科飞测半导体设备沪深300指数2024-10-19%%%%3 请阅读最后评级说明和重要声明 4 / 34 联合研究 | 公司深度 目录 中科飞测：大陆量检测设备龙头，国产替代先锋 .......................................................................... 6 技术底蕴深厚，产品矩阵持续丰富 ................................................................................................................. 6 营收持续高增长，股权激励彰显增长信心 ...................................................................................................... 7 行业发展：晶圆制造核心环节，国产替代迫在眉睫 .................................................................... 10 设备特点：芯片良率关键保障，产品类型繁杂多样 ..................................................................................... 10 检测设备：发现缺陷，提升良率的“眼睛” ................................................................................................ 13 量测设备：标定误差，保证精度的“标尺” ..............................................