华海清科(688120)收购离子注入机业务方案落地，构筑公司第二成长曲线

请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 [Table_Title] 华海清科：收购离子注入机业务方案落地，构筑公司第二成长曲线 [Table_Title2] 华海清科(688120) [Table_DataInfo] 评级： 增持 股票代码： 688120 上次评级： 增持 52 周最高价/最低价： 220.0/118.0 目标价格： 总市值(亿) 408.28 最新收盘价： 172.47 自由流通市值(亿) 293.15 自由流通股数(百万) 169.97 [Table_Summary] 事件概述 12 月 24 日，公司公告拟用不超过 10 亿元收购子公司芯嵛半导体剩余 82%股权，收购完成后，芯嵛半导体将成为公司全资子公司。 ► 收购芯嵛拓展离子注入业务，对赌补偿机制降低收购风险 芯嵛半导体主营业务为集成电路离子注入机，公司通过本次收购，成功切入离子注入机领域，符合“装备+服务”的平台化战略，具体从交易细节来看： 1）估值方面：芯嵛半导体尚未实现稳定收入和盈利，整体估值 12.25 亿，以 25 年对赌收入测算PS 为 11.8 倍，低于可比公司，结合离子注入国产化率不足 10%，芯嵛半导体的估值具备一定吸引力； 2）业绩承诺：业绩承诺方（CHEN WEI、上海凯城、CHEN JIONG）交易对价并非一次性支付，将基于 2024-2026 年业绩表现分期支付：①考核标准一，芯嵛未来收入不低于 0.45、1.05 和 3.4 亿元，且整机收入占比需超过 80%，②考核标准二，2024、2025 年分别交付不少于 4、8 台，若当年未完成考核标准，将根据未完成比例计算业绩补偿数额，以扣除支付费用或股份等方式进行支付进行业绩补偿。从对赌目标来看，收入端三年复合增速高达 160%，交付方面同样要求不低，对赌补偿机制最大程度降低收购风险。此外，业绩承诺方以自身名义，按转让对价一定比例，通过上海证券交易所集中竞价方式，购买公司股票，充分体现了对未来发展的信心。 ► BIS 制裁新规落地，离子注入机环节受益加速国产替代 1）行业层面：BIS 制裁落地，国产设备加速导入，离子注入环节国产化率不足 10%且美系垄断（Axcelix、AMAT），价值量占比约前道设备的 3%-5%，根据我们测算 2025 年市场规模约 110 亿元，其中低/中/高能注入机分别占比 61%、20%、18%，是国产替代最迫切环节； 2）公司层面：芯嵛半导体核心技术团队从事离子注入行业超 30 年，主要产品低能大束流离子注入设备已实现商业化，相较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高，目前已有部分机台验收，持续受益国产替代。除了业绩考核外，本次交易设置全面的超额奖励机制，若 2024 年超额完成业绩承诺，2025-2026 年同样超额完成，将分别奖励 1000 万元-2000 万元（2025 年）、2000 万元-3000 万元（2026 年）给核心团队，具体数字根据超额情况确定。此外，另外设置两台特点工艺设备交付奖励，一旦实现验收，直接奖励 2000 万元/台。除 CMP、减薄等设备外，离子注入有望成为公司新的成长曲线。 ► 立足 CMP 设备不断完善产品线，减薄、清洗、量测等设备取得积极进展 证券研究报告|公司点评报告 [Table_Date] 2024 年 12 月 24 日 证券研究报告|公司点评报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 2 19626187/21/2019028 16:59 公司在巩固 CMP 竞争优势同时，不断丰富产品线布局，减薄、清洗、量测等设备取得积极进展。1）减薄设备：12 英寸超精密晶圆减薄机 Versatile-GP300 已取得多个领域头部企业的批量订单，9月 Versatile-GP300 完成首台验证工作。晶圆减薄贴膜一体机 Versatile–GM300 已发往国内头部封测企业进行验证。2）划切设备：12 英寸晶圆边缘切割设备已发往多家客户进行验证。3）清洗设备：已批量用于公司晶圆再生生产，应用于 4/6/8 英寸化合物半导体的刷片清洗装备已通过客户端验收；应用于 4/6/8/12 英寸片盒清洗装备已取得小批量订单。4）膜厚量测设备：应用于 Cu、Al、W、Co 等金属制程的薄厚量测设备已实现小批量出货，并取得某集成电路制造龙头企业的批量重复订单。 投资建议 我们维持 2024-2026 年营业收入预测分别为 35.00、47.40 和 60.34 亿元，同比+40%、+35%和+27%；2024-202年归母净利润分别为 10.09、13.36 和 17.02 亿元，同比+39%、+32%和+27%；2024-2026 年 EPS 为 4.26、5.64和 7.19 元。2024/12/24 股价 172.47 元对应 PE 为 40、31、24 倍，维持“增持”评级。 风险提示 本次拟收购事项尚未完成，存在不确定性；下游扩产不及预期；半导体业务拓展不及预期；公司拟投资建设上海集成电路装备研发制造基地尚未完成，存在不确定性等。 盈利预测与估值 [Table_profit] 财务摘要 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入(百万元) 1,649 2,508 3,500 4,740 6,034 YoY（%） 104.9% 52.1% 39.5% 35.4% 27.3% 归母净利润(百万元) 502 724 1,009 1,336 1,702 YoY（%） 153.0% 44.3% 39.4% 32.4% 27.4% 毛利率（%） 47.7% 46.0% 46.2% 46.3% 46.4% 每股收益（元） 3.52 4.55 4.26 5.64 7.19 ROE 10.5% 13.1% 15.3% 16.8% 17.6% 市盈率 49.00 37.91 40.46 30.56 23.99 资料来源：Wind，华西证券研究所 [Table_Author] 分析师：黄瑞连 邮箱：huangrl@hx168.com.cn SAC NO：S1120524030001 联系电话： 证券研究报告|公司点评报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 3 19626187/21/2019028 16:59 财务报表和主要财务比率 [Table_Finance] 利润表（百万元） 2023A 2024E 2025E 2026E 现金流量表（百万元） 2023A 2024E 2025E 2026E 营业总收入 2,508 3,500 4,740 6,034 净利润 724 1,009 1,336 1,702 YoY(%) 52.1% 39.5% 35.4% 27.3% 折旧和摊销 73 105 121 135 营业成本 1,354 1,884 2,547 3,232 营运资金变动 -138 330 -32 12 营业税金及附加 18 28 38 48 经营活动现金流 653 1,457 1,478 1,