芯源微(688037)首次覆盖：国内涂胶显影设备龙头，布局化学清洗和先进封装

1 | 请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 公司深度研究 | 芯源微 国内涂胶显影设备龙头，布局化学清洗和先进封装 芯源微（688037.SH）首次覆盖  核心结论 公司评级 增持 股票代码 688037.SH 前次评级 -- 评级变动 首次 当前价格 92.1 近一年股价走势 分析师 贺茂飞 S0800521110001 18217567458 hemaofei@research.xbmail.com.cn 相关研究 【核心结论】预计 2024-2026 年公司营收分别为 20.92/27.89/36.25 亿元，归母净利润为 3.26/4.34/5.76 亿元。公司涂胶显影产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，同时积极布局化学清洗与临时键合及解键合设备打开长期成长空间，首次覆盖，给予公司“增持”评级。 【主要逻辑】 涂胶显影设备是光刻工序关键设备，是唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，行业进入门槛高，目前国产化率依然较低，该市场长期被日本厂商垄断，本土厂商芯源微实现突破。芯源微作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，2018 年推出首台前道 Track，经过多年发展，积累了工艺达标、光刻机联机作业、稳定运行的宝贵经验，完成了与数十台光刻机的成功联机量产。公司产品型号覆盖度不断提升，offline、I-line、KrF 节点产品已实现量产，ArF 浸没式机台正加速推进产业化，公司二季度新签订单情况良好，随着客户认可度的提升，公司市场份额有望实现不断增长。 我们测算 2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场规模为 10.15 亿美元，预计2025 年增长到 13.17 亿美元。目前前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断，在全球市占率高达 90%，涂胶显影设备国产替代迫切。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，相关产品成功打破国外厂商垄断，前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点全覆盖，28nm 以下工艺技术正在验证中，有望充分受益涂胶显影设备国产替代趋势。 积极布局化学清洗、临时键合及解键合等领域，打开成长空间。公司目前已经成为国内前道物理清洗设备龙头，化学清洗机已于 2023 年第四季度获得国内知名客户验证性订单，未来有望逐步放量。键合设备方面，目前芯源微可应用于Chiplet 等领域的新产品临时键合机、解键合机也实现国内多家客户订单导入，进一步打开先进封装市场增长空间。 风险提示：新产品推广不及预期的风险，行业竞争风险，宏观环境风险  核心数据 2022 2023 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 1,385 1,717 2,092 2,789 3,625 增长率 67.1% 24.0% 21.9% 33.3% 30.0% 归母净利润 (百万元) 200 251 326 434 576 增长率 158.8% 25.2% 30.1% 33.1% 32.8% 每股收益（EPS） 1.45 1.81 2.36 3.14 4.17 市盈率（P/E） 63.6 50.8 39.0 29.3 22.1 市净率（P/B） 6.0 5.3 4.7 4.1 3.4 数据来源：公司财务报表，西部证券研发中心 -54%-46%-38%-30%-22%-14%-6%2%2023-062023-102024-02芯源微半导体设备沪深300证券研究报告 2024 年 06 月 25 日 公司深度研究 | 芯源微 西部证券 2024 年 06 月 25 日 2 | 请务必仔细阅读报告尾部的投资评级说明和声明 索引 内容目录 投资要点 .................................................................................................................................. 5 关键假设 ............................................................................................................................. 5 区别于市场的观点 .............................................................................................................. 5 股价上涨催化剂 .................................................................................................................. 5 估值与目标价 ...................................................................................................................... 5 芯源微核心指标概览 ................................................................................................................ 6 一、 国内涂胶显影设备龙头，产品打破国外垄断 ................................................................... 7 1.1 深耕涂胶显影设备领域二十载，产品打破国外垄断 ..................................................... 7 1.2 财务分析：营收稳步增长，高研发投入保障长期发展 ................................................. 9 二、 涂胶显影设备是光刻工序的关键设备，国产替代前景广阔 ........................................... 12 2.1 涂胶显影是光刻工艺的重要环节 ................................................................................ 12 2.2 市场空间：测算 2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场约为 10.15 亿美元 ............ 16 2.3 竞争格局：日系厂商垄断涂胶显影市场，国产替代需求迫切 .................................... 19 三、 布局化学清洗、临时键合及解键合等领域，打开成长空间 ........................................... 26 3.1 单片式湿法设备市场集中度较高，公司已成为国内前道物理清洗设