半导体设备行业国产替代趋势月度跟踪：9月产线招标维持较大规模，国产中标数量持续提升

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 20 [Table_Page] 跟踪分析|半导体 证券研究报告 [Table_Title] 半导体设备国产替代趋势月度跟踪 9 月产线招标维持较大规模，国产中标数量持续提升 [Table_Summary] 核心观点： ⚫ 9 月合计 126 项招标，以燕东、粤芯、积塔为主，招标设备主要包括测试机、探针台、气液系统等品类。2023 年 9 月，统计样本中的晶圆产线合计产生 126 项招标。以燕东微电子、粤芯半导体、积塔半导体等产线招标为主。招标设备主要包括测试机、探针台、气液系统，主要为燕东微电子、积塔半导体、华虹半导体、上海华力招标。此外，基建项目主要为粤芯半导体、中芯国际、积塔半导体招标。2023 年 1-9 月，统计样本中的晶圆产线合计招标 1090 项，其中，华虹半导体、粤芯半导体、积塔半导体的招标量位居前三。整体而言，设备招标以扩散、探针台、刻蚀设备为主。 ⚫ 9 月合计 93 项中标，以光刻、刻蚀、涂胶显影设备居多，国产设备整体中标比例约 54%，磨抛光、涂胶显影、清洗和气液系统设备的国产中标比例显著。中标方面，2023 年 9 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标 93 台设备，以光刻、刻蚀、涂胶显影设备居多；国产设备整体中标比例约 54%，其中，研磨抛光、涂胶显影、清洗和气液系统设备的国产中标比例显著。2023 年 1-9 月，统计样本中的晶圆产线合计中标 363 台设备，以气液系统、刻蚀、光刻设备居多；国产设备整体中标比例约 51%，其中，PECVD、外延、氧化设备的国产中标比例较高。 ⚫ 9 月统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 38 台设备，以中微公司、芯源微、盛美上海中标为主，在对应工艺环节的中标比例为 79%。2023 年 9 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 38 台设备，以中微公司、芯源微、盛美上海中标为主，在对应工艺环节的中标比例为 79%。在 2023 年 1-9 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标 134 台设备，北方华创、万业企业、中微公司中标量领先。2023年 1-9 月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为 46%。其中，北方华创的外延、氧化设备、拓荆科技的 PECVD 设备在对应工艺环节的中标比例领先，均为 100%。 ⚫ 投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、中科飞测、拓荆科技、芯源微、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖） ⚫ 风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。 [Table_Grade] 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2023-10-29 [Table_PicQuote] 相对市场表现 [Table_Author] 分析师： 王亮 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE No. BFS478 021-38003658 gfwangliang@gf.com.cn 分析师： 耿正 SAC 执证号：S0260520090002 021-38003660 gengzheng@gf.com.cn 分析师： 焦鼎 SAC 执证号：S0260522120003 021-38003658 jiaoding@gf.com.cn 请注意，耿正,焦鼎并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 [Table_DocReport] 相关研究： 国产替代关键产品系列:大像素 50M CIS 成旗舰手机主摄主流方案，本土厂商产品端、客户端加速突破 2023-10-26 电子海外观察:TI 23Q4 营收指引低于市场预期，消费电子市场需求率先回暖 2023-10-25 国产替代核心技术系列:极高深宽比刻蚀研发验证稳步推进，支撑 3D NAND 产业升级 2023-10-20 [Table_Contacts] -14%-7%0%7%14%21%10/2212/2202/2304/2306/2308/23半导体沪深300 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 20 [Table_PageText] 跟踪分析|半导体 [Table_impcom] 重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 货币 最新 最近 评级 合理价值 EPS(元) PE(x) EV/EBITDA (x) ROE(%) 收盘价 报告日期 （元/股） 2023E 2024E 2023E 2024E 2023E 2024E 2023E 2024E 北方华创 002371.SZ CNY 251.79 2023/07/17 买入 416.96 6.56 9.17 38.38 27.46 29.10 21.97 15.10 17.40 华海清科 688120.SH CNY 204.52 2023/04/29 买入 463.74 7.17 9.69 28.52 21.11 38.51 28.09 13.80 15.70 拓荆科技 688072.SH CNY 246.50 2023/04/20 买入 537.36 3.98 6.34 61.93 38.88 110.39 64.90 12.00 16.00 长川科技 300604.SZ CNY 37.41 2023/04/25 买入 72.05 1.44 1.99 25.98 18.80 22.84 16.93 27.70 28.10 中微公司 688012.SH CNY 165.56 2023/10/27 买入 222.62 2.36 3.08 70.15 53.75 67.33 52.17 8.70 10.10 盛美上海 688082.SH CNY 123.08 2023/10/29 买入 145.74 2.10 2.80 58.61 43.96 53.31 36.86 14.20 15.90 至纯科技 603690.SH CNY 26.59 2023/04/19 买入 57.97 1.66 2.29 16.02 11.61 11.15 8.44 10.60 12.80 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：数据更新至 2023 年 10 月 29 日。 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 20 [Table_PageText] 跟踪分析|半导体 目录索引 一、晶圆扩产与国产替代驱动，设备市场空间广阔 ...................